處理好預案

大尺寸光波導器件批量化

主導能力：大幅面高保真納米級圖案轉移技術

  • 可實現尺寸450mm納米圖案復制技術
  • 具備柔性、硬質基底的轉移方案
  • 高精度對準納米壓印技術
  • 拼接壓印與雙面壓印技術
 

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