光場并行處理投射和積份的變標準容量直寫報光高技術,蘇大維格提交“羅馬數字構成光場的掃描軟件相互疊加報光”新具體方法,推動大戶型3D形貌光刻。
她是累計極度發生變化的雷韻構造SEM婚紗照。達成環境光場的數據報告加載,累計掃描儀直寫,不需數次套刻,達成幾臺階構造,形貌寬度不超20μm。
二元光學分解2N灰階算法,灰階2N,只需N次曝光。以256階=28灰階為例,光刻效率提升32倍。
用神經網絡算法、內存數據顯示、光場的一起基本操作、多少次復印-單脈沖曝光過度,累計復印體現多少次合成,體現了微納3D形貌快速的提純。