技術特點
- 支持8''—110''幅面
- 3D矢量設計數據向微結構形貌轉化先進算法與軟件
- 海量數據文件實時處理/傳輸/同步寫入快速光刻
- 大面積襯底實時三維導航自聚焦功能,雙驅動龍門構架精密控制技術
- 支持多格式2D、3D模型數據文件
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