技術特點
- 壓印模式:輥對平壓印,UV壓印固化( 365nm紫外光LED )
- 運行模式:單片壓印,自動脫模
- 對位精度:套準精度 5-10um
- 壓印結構:50nm-50um
- 壓印面積:200*200(FlexAligner-P200);300*300(FlexAligner-P350)
- 子模類型:柔性透明模具(FlexAligner-P200);金屬模具(FlexAligner-P350)
- 襯底類型:玻璃&硅片(FlexAligner-P200); 柔性卷材(FlexAligner-P350)
- 應用領域:大面積光波導、光場成像、衍射光柵、微透鏡陣列、薄膜透鏡…